Masterarbeit entwicklung Und Experimentelle - Oberkochen, Deutschland - ZEISS Group

ZEISS Group

Geprüftes Unternehmen

Oberkochen, Deutschland

vor 1 Woche

Geschrieben von:

Lena Wagner

beBee Recruiter

Beschreibung

Ihre Rolle

Um immer kleinere und leistungsfähigere integrierte Schaltungen herstellen zu können, werden die Genauigkeitsanforderungen an Lithographie Systeme insbesondere für die EUV Technologie stetig höher. Kritische Komponenten werden zur thermischen Stabilisierung und Regelung deshalb aktiv gekühlt. Da das schwingungsdynamische Verhalten der Strukturen in der Größenordnung Nanometer entscheidend ist, muss die strömungsinduzierte Anregung durch das Kühlmedium (Flow Induced Vibration) genau bekannt und möglichst klein sein. Die gekühlten Komponenten werden hierzu, im Rahmen der Produktentwicklung, entsprechenden Verifkationsmessungen unterzogen. Um die signifikant steigenden Anforderungen nach immer geringeren Anregungsniveaus erfüllen zu können, müssen auch die entsprechenden Testmethoden und Messtechniken für sehr geringe Beschleunigungen, Kräfte und Drücke weiterentwickelt werden.

Eine Methode solche geringen Anregungsniveaus messtechnisch zu erfassen, ist die Verwendung von skalierten Funktionsmodellen. Nach aktuellem Stand sind die flussinduzierten Beschleunigungen bei entsprechend geringen Volumenströmen nicht messbar, da die resultierenden Beschleunigungen unterhalb der Rauschgrenze der verwendeten hochsensitiven Beschleunigungsaufnehmer (Accelerometer) liegen. Eine angestrebte Reduktion der Masse des Prüflings führt unter der Voraussetzung konstant bleibender Anregungskräfte zu höheren Beschleunigungen, welche dann messtechnisch erfasst werden können. Die nötige Massenreduktion soll durch kleinere, entsprechend skalierte Prüflinge erreicht werden. Um die Kraftwirkung auf den Prüfling durch die Skalierung nicht zu beeinflussen, müssen Ähnlichkeitsbetrachtungen durchgeführt werden.

Das Ziel dieser Thesis ist die Ausarbeitung und Durchführung geeigneter Ähnlichkeitsansätze zur erfolgreichen Skalierung der Prüflinge. Neben der Ausarbeitung des theoretischen Konzepts liegt der Fokus auf der experimentellen Untersuchung geeigneter Prüflinge.

Ihr Profil- Studium der Ingenieurswissenschaften oder Physik mit sehr guten Studienleistungen- Kenntnisse in Schwingungslehre und Strömungsmechanik- Grundlagenwissen im Bereich der Ähnlichkeitstheorie und Dimensionsanalyse (Buckinghamsches π-Theorem) wünschenswert- Erfahrung mit Messtechnik wünschenswert- Kenntnisse in MATLAB wünschenswert- Sorgfältiges und verantwortungsbewusstes Arbeiten im Labor- Gute Team
- und Kommunikationsfähigkeit

Your ZEISS Recruiting Team:
Ines Kloda, Verena Hald